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發(fā)布時(shí)間:2019-10-14 00:00:00
公司主營(yíng):太陽(yáng)能行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、LED行業(yè)和液晶玻璃基板等行業(yè)的濕法清洗刻蝕設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、尾氣處理設(shè)備和化學(xué)自動(dòng)供液系統(tǒng)等設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)工作。
我們相信設(shè)計(jì)質(zhì)量+物料質(zhì)量+生產(chǎn)質(zhì)量=設(shè)備質(zhì)量。我們著重于所有設(shè)備與開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品相關(guān)的各項(xiàng)鉆研,如設(shè)備定位及功能設(shè)計(jì)、零件挑選、設(shè)備測(cè)試及環(huán)境考慮等,且不斷堅(jiān)持對(duì)于質(zhì)量的重視與創(chuàng)新的開(kāi)發(fā)。
全部分類(lèi)
SIC切割后清洗機(jī)
1): 擁有多種規(guī)格型號(hào),適用于不同尺寸SIC晶圓的清洗;
2): 適用于4寸丶、6寸、8寸等多規(guī)格SIC襯底片的刻蝕清洗
3): 全自動(dòng)控制,機(jī)械手傳遞片籃,采用工控機(jī)+觸摸屏控制方式,電器件均采用進(jìn)口品牌
SIC全自動(dòng)預(yù)清洗機(jī)
1): 適用SIC襯底片的預(yù)清洗,可兼容4寸、6寸、8寸規(guī)格
2): 全自動(dòng)控制,高速機(jī)械手,保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn),定位可靠
3): 設(shè)備外觀(guān)大氣、結(jié)構(gòu)緊湊
SIC全自動(dòng)去蠟清洗機(jī)
1): 適用SIC襯底片的去蠟清洗,可兼容4寸、6寸、8寸規(guī)格
2): 全自動(dòng)控制,高速機(jī)械手,保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn),定位可靠
3): 設(shè)備外觀(guān)大氣、結(jié)構(gòu)緊湊
SIC拋光后清洗機(jī)
1): 適用SIC襯底片的拋光后清洗,可兼容4寸、6寸、8寸規(guī)格
2): 全自動(dòng)控制,高速機(jī)械手,保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn),定位可靠
3): 設(shè)備外觀(guān)大氣、結(jié)構(gòu)緊湊
SIC倒角后清洗機(jī)
1): 適用SIC襯底片的倒角后清洗,可兼容4寸、6寸、8寸規(guī)格
2): 全自動(dòng)控制,高速機(jī)械手,保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn),定位可靠
3): 設(shè)備外觀(guān)大氣、結(jié)構(gòu)緊湊、干法下料
SIC研磨后清洗機(jī)
1): 適用SIC襯底片的刻蝕清洗,可兼容4寸、6寸、8寸規(guī)格
2): 全自動(dòng)控制,高速機(jī)械手,保證設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn),定位可靠
3): 可選自動(dòng)配/補(bǔ)液,超聲波、溢流循環(huán)、過(guò)濾、在線(xiàn)加熱等功能
半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中玻璃硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。
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